安全-Safety

*この章では半導体に従事される方向けの安全について述べます。

◇安全について(安全管理)
◇安全アイコン(ANSI, ISO)
◇MSDS(Material Safety Data Sheet)
◇PPE(Personal Protective Equipment)保護具
◇酸欠危険作業  ◇ケミカルセーフティ ◇ガスセーフティ
◇重量物の扱い
◇Radiation Safety
◇Electrical Safety
◇LOTO (Lock out Tag out)
◇KY 危険予知  KYT 危険予知トレーニング HHT ヒヤリハット
◇産業用ロボット特別教育
◇救急法

1.作業前の安全点検、KY等の実施(客先による)、手順の確認。
2.シリンダー、溶剤、薬品の取扱いは安全マニュアルに従う。                                                           またトレーニングを受けたものが行う。
3. インターロックを解除したなら必ず元にもどす。
4.薬品、電気機器の取扱いでは金属類は外す。指輪、ネックレス、時計など。
5.素手でチャンバー、ポンプなど副生成物が出来ている可能性のあるところを触らない。
6.隔離された部屋、空間で人目のつかない場所での一人作業の禁止-薬剤保管庫、ガス室、洗浄室など。
7.電気作業中の一人作業の禁止。
8.保護具の使用が義務づけられているもの、またはそれに準ずる内容の作業においては、必ず安全保護具 、安全メガネ、手袋、ガスマスク、前掛け、絶縁靴、その他)を使用する。
9.使用資材、工具等を許可なく放置、また一時保管してはならない。
10.作業中は常に整理整頓しながら行う。一時作業場所を離れる場合は、作業中の設備および工具、部品材料、ガス、薬品等を危険の無いよう確実に処置してから離れる。

11.キャリア、ウエハーに直接、間接に触れる可能性のある個所に使用する工具類は、油分、塵埃のないものとする。またアルコール等で洗浄する。
12.特に稼働中の装置で作業を行う場合、その装置および付帯設備等には十分注意を払う。
13.災害、事故、疾病が発生した際には、直ちに担当者、近辺者に連絡し必要な処置を行う。
14.災害、事故、疾病発生時の際の連絡ルートはあらかじめ必ず確認しておく。休日の場合も同様とする。
15.薬液が目に入った場合には緊急シャワーで十分洗う(15分以上)。必要なら全身用緊急シャワーを使用する。HF浸透性が強く、その場では感じませんが5-6時間後激痛が走ります。 流水で充分洗い医師の手当を受けてください。
16.業務災害にあったなら必ず医師の診断を受けておくこと。

17.クリーンルームウェア、手袋を正しくつけ、髪の毛を出さない。
18.作業中、作業後の整理整頓、清掃。
19.切削加工業務はなるべく行わない(のこぎり、ドリル、溶接、ハンダ)。行う場合は安全と養生    の徹底。
20.床に直接座らない。床に落としたものを使用しない。
21.クリーンルームでは走ったりしないで静かに行動する。大声で話さない-悪ふざけしない。
22.破れた手袋、ウェアは直ぐ交換する。 汚れた場合も同様とする。髪の毛、皮膚に触れない。
23.レーザー作業、ケミカル作業時はコンタクトレンズを外す。(US規定)
24.火気の使用制限。ガスライターのクリーンルーム内持込禁止の場合など。(客先による)
25.フリーアクセスフロア開口作業時の立ち入り禁止、ガードの設置。

安全の基本は!3つ

 

1.触れない!
化学物質、副生成物、充電部、運動中の機械などに接触しない
2. 吸わない!
ガス、蒸発性の薬品、蒸発性の物質
3. 浴びない!
高周波、マイクロ波、レーザー、赤外線、紫外線、Ⅹ線、放射能など

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